結晶に関しては、切断前にその配向を決定し、切断面を決定する必要があります。切断するときは、最初に鋸刃を固定し、切断する材料を固定する必要があります。また、切削熱による結晶表面の損傷を低減することができ、切削液は切削領域の結晶スラグを洗浄することもできます。

切断されたウェーハは、次のプロセスで研削されます。まず、厚さ計を使用してウェーハの厚さを測定してグループ化し、同じ厚さのウェーハをキャリアブロックに対称的に貼り付けます。接合する前に、ウェーハの周囲を面取りします。固定ワックスが溶けていて、ウェーハがキャリアブロックの最も外側のリングに配置され、ステッカーが対称であり、下の空気がチップを排出する必要があります（圧縮用の鉄ブロックを使用）。回転しないロードブロックや気泡による破片の発生を防ぎます。次に、キャリアブロックに付着したウェーハの厚さを厚さゲージで測定し、最初の記録を作成します。

研削研磨機を使用する前に、装置を洗浄する必要があります。同時に、研磨ディスクの平坦性を確保するために、研磨ディスクは使用前に研磨する必要があります。ディスクを研磨するときは、ドレッシングリングと研磨ディスクを自動研磨する必要があります。同じ研磨剤が使用され、各ディスクの修理時間は約10分です。この方法でのみ、研削中にウェーハの表面が損傷することはなく、理想的な研削効果を実現できます。

理想的な研削効果を実現するには、研削工具も重要です。TransGrindは、コンクリートや石の研削および研磨用にさまざまな種類のダイヤモンド工具を提供しています。Scanmaskinツール、Lavinaツール、Klindexツール、Husqvarnaツール、HTCツールなど、さまざまな種類のダイヤモンドツールを多数のお客様に提供しています。興味がある場合は、写真をクリックして公式Webにアクセスして製品を参照してください。 。

研磨する前に、研磨布がきれいであるかどうか、および研磨布が粘着性で平らであるかどうかを確認してください。清潔で平らでなければなりません。研磨するときは、研磨液の流量を少なくしないでください。研磨液は研磨布で完全に飽和している必要があります。一般的に、研磨時間は1時間以上である必要があります。腐食速度は機械的摩擦速度よりも大きく、ウェーハ表面に小さなピットが生じます。

機器の洗浄は非常に重要です。洗浄がきれいであるかどうかは、ウェーハの研削と研磨の品質に直接影響します。研削または研磨を行うたびに、機器の内側と外側を注意深く清掃してください。キャリアブロックのサポートホイールが回転していると、研磨剤がホイールに入りやすくなります。使用する前に、必ずブラシを使用してサポートホイールの隙間に残っている研磨剤を取り除き、サポートホイールが回転できるようにしてください。自由に。ウェーハの研削と研磨の平坦性を確保します。

装置を洗浄するとき、水がケーシングの内部に入り、ワイヤの短絡を引き起こすことを避けるために、水流が大きくなりすぎることは容易ではありません。

装置を長期間使用しない場合は、装置を清掃して水の汚れを拭き取り、錆びないように鋳鉄製の鍋に油を塗ってください。